Objetivos de pulverización

Los objetivos de pulverización catódica se utilizan en procesos de deposición física de vapor (PVD) para la fabricación de películas delgadas. La cartera incluye objetivos de oro de alta-pureza, objetivos de platino y objetivos de rutenio, compatibles con dispositivos semiconductores, componentes electrónicos, sensores y recubrimientos funcionales.
A través de niveles de pureza controlados, gestión de microestructuras y fabricación de objetivos de precisión, los materiales proporcionan un comportamiento de pulverización estable y un rendimiento constante de deposición de películas en la fabricación microelectrónica.

Envíeconsulta

Productos principales

Objetivos de oro de alta-pureza

Objetivos de platino

Objetivos de rutenio

Características

Proporcionamos objetivos de metales preciosos con microestructuras internas uniformes para minimizar la generación de partículas durante la pulverización catódica, garantizando una calidad de película continua y estable.

Alta pureza
Densidad alta
Estructura de grano uniforme

Rendimiento de pulverización estable
Buena consistencia de la película
Tamaños y unión personalizables.

Propiedades de los materiales de objetivos de pulverización catódica

Categoría	Descripción
Sistemas de materiales	Objetivos de deposición de metales preciosos
Formularios de productos	Objetivos planos y geometrías personalizadas
Sistemas de aleación	Materiales de oro, platino y rutenio de alta pureza
Actuación	Proceso de pulverización catódica estable con calidad y adhesión confiables de la película
Procesos	Deposición física de vapor (PVD)
Control dimensional	Conformado de precisión con tolerancias controladas
Formato de suministro	Personalización basada en tamaños y equipos estándar-

Aplicaciones de materiales de objetivos de pulverización catódica en diversas industrias

Semiconductores y circuitos integrados:Se utiliza para la deposición de capas conductoras, capas de barrera y capas de semillas en la fabricación de obleas.
Medios de almacenamiento magnéticos:Los objetivos de rutenio (Ru) se aplican principalmente en la preparación de capas base para medios de grabación magnéticos y discos duros.
Sensores y MEMS:Los objetivos de platino (Pt) y oro (Au) son adecuados para la deposición de películas finas-en electrodos de sensores, MEMS y componentes de pruebas de precisión.
Dispositivos optoelectrónicos:Se utiliza para recubrimientos de metalización y deposición de electrodos en componentes ópticos y dispositivos emisores de luz-.
Componentes electrónicos de precisión:Cumple con los requisitos de fabricación para conductividad superficial, protección y recubrimientos funcionales en muchos componentes electrónicos.